洁净室是利用空气净化设备,其尘埃的收集率达99.97~99.99995%,因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干 净。然而洁净室内除了人以外,尚有机器等之发尘源,这些发生的尘埃一旦扩散,即无法保持洁净空间,因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。
禁尘、带尘、产尘是无尘室的发尘缘。风淋室作为进入洁净室的缓冲通道之一,是控制带尘的最好净化设备之一,它可以最大限度地减 少员工进出无尘室所带来的污染问题。风淋室的两道门电子互锁,可以兼起气闸室的作用,阻止外界污染和未被净化的空气进入无尘洁净区域,达到生产车间所 要求的生产洁净环境。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并 非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,每立方米将小于0.5微米粒径的微尘 数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较 高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内。
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